壓力變送器是過程檢測(cè)控制領(lǐng)域中的重要設(shè)備之一，而在很久之前，變送器的檢測(cè)部件大多采用力平衡式，也就是測(cè)量比較復(fù)雜且功能單一。近10年，隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，精密機(jī)械加工技術(shù)的提升，材料技術(shù)的完善提高，研發(fā)了差動(dòng)電容作為主要檢測(cè)部件的新類型壓力變送器，也就是電容式壓力變送器，由于它在精度、可靠性、穩(wěn)定性、小型輕量化、耐環(huán)境性等方面都優(yōu)于力平衡式。

 

   電容式壓力變送器的一次組件大致可分為兩類，根據(jù)受壓元件（膜片）的數(shù)目分為二枚式和一枚式。這種分類方法，既不是按稱之為位移平衡式、力平衡式的工作原理來分的。二枚式的結(jié)構(gòu)如下：將兩枚特性一致的受壓元件相對(duì)安裝，用剛體使二者的中心一體化，在兩個(gè)受壓元件之間充滿非壓縮性流體。二次變化元件沉浸在兩個(gè)受壓元件之間的液體中，避免與過程液體直接接觸。

 

   一枚式是用一枚受壓元件感受壓力，將它轉(zhuǎn)換成位移或者力，因此結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單。可是，這種方法用于測(cè)量壓力值來自一個(gè)方向的場(chǎng)合較好，而在受壓元件兩邊加以差壓的場(chǎng)合下，存在二次變化元件沉浸在過程液體中的缺點(diǎn)。為此，通常做成以下形式：將受壓元件夾在中間，另外配置二枚密封元件，成為總共三枚元件的結(jié)構(gòu)，而在各元件直接充滿非壓縮性流體（也就是硅油）。這樣一來，二次變化元件可以沉浸在任意一邊的液體中。經(jīng)過這樣處理之后，充滿非壓縮性流體的室的數(shù)目有兩種，二枚算一個(gè)，一枚算兩個(gè)個(gè)，三枚算兩個(gè)，并且分別稱之為一室結(jié)構(gòu)和二室結(jié)構(gòu)，如圖1所示。而這種結(jié)構(gòu)的不同，導(dǎo)致壓力變送器的特點(diǎn)不同。